電能轉化為化學能，哈默納科電子加速器諧波SHD-32-100-2SH產生輻射化學或物理效應，使電子膠的分子鏈被切斷或重新組合而形成分子量的變化以實現電子束曝光。采用這種方法，可以實現材料表面微槽或其他幾何形狀的刻蝕加工。

   2.特點

   1)由于電子束能夠極其微細地聚焦，甚至能聚焦到O.lE}m}所以加工面積可以很小，是一種精密微細的加工方法。微型機械中的光刻技術可達到亞微米級寬度。

   電子束加工設備的基本結構主要由電子槍、真空系統、控制棄統和電源等部分組成。

   電子槍是獲得電子束的裝置，它包括電子發射陰極、控制柵極和加速陽極等。陰極經能流加熱發射電子，帶負電荷的電子高速飛向帶高電位的陽極。在飛向陽極的過程中，經過力!速極加速，又通過電磁透鏡把電子束聚焦成很小的束斑。

   發射陰極一般用鎢或擔制成，在加熱狀態下發射大量電子。小功率時用鎢或擔做成些狀陰極，大功率時用擔做成塊狀陰極哈默納科電子加速器諧波SHD-32-100-2SH，控湘柵極為中間有孔的圓筒形，其上加以較陰極為負的偏壓，既能控制電子束的強弱，又有初步的聚焦作用。加速陽極通常接地，而陰極為很高的負電壓，所以能驅使電子加速。